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Spécial MICRONORA 2004 : TalySurf CCI, la prochaine génération de mesure sans-contact de TAYLOR HOBSON

17/09/2004
Taylor Hobson a toujours été synonyme d'excellence en terme d'instruments de mesure à palpeur. Avec l'arrivée du Talysurf CCI cette image est étendue à la métrologie sans-contact.

Ce nouvel appareil de Taylor Hobson, le Talysurf CCI, augmente les performances par des spécifications jamais vues auparavant pour ce type d'appareil. La résolution de 0.1 Angstrom pour une gamme de 100µm est la plus significative. Mais le plus impressionnant est peut-être la stabilité extrême de l'appareil. Avec une répétabilité RMS de 0.03 Angstrom, le CCI est parfait pour les MEMS, les semi-conducteurs, le stockage de données et beaucoup d'autres applications de ultra haute précision.

Le Talysurf CCI est un type avancé d'interféromètre de mesure. Il utilise un algorithme breveté pour trouver la position du pic de cohérence d'un réseau d'interférences généré par une source lumineuse à largeur de bande réglable. Cette méthode autorise à la fois haute résolution et grande sensibilité à la lumière réfléchie. Tous les matériaux ? y compris le verre, les encres liquides et le métal ? et virtuellement toutes les surfaces de réflectivité comprise entre 0.3% et 100%.

Dans un temps de cycle de quelques secondes le Talysurf CCI collecte 1 048 576 points ( réseau de 1024 x 1024 pixel) pour chaque mesure.

Des fonctions d'analyses automatiques sont exécutées par le logiciel 3D Talymap.

Le TalySurf CCI s'avérera être un inestimable outil de métrologie pour toutes les mesures sans-contact de rugosité, de gravure ou de micro géométrie de haute précision, à grande vitesse.

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